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有效控制加工液温度、水回路循环系统全部使用不锈材质确保水质干净度
水回路循环系统可配置过滤装置、水回路循环系统可配置水质监测装置
温度控制精度可依要求设计达到±1℃
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应用范围及机械种类
半导体制程设备、医疗仪器设备
镭射加工机、激光加工机、UV印刷机械
其他以水冷却之产业机械设备
特点
有效控制加工液温度、水回路循环系统全部使用不锈材质确保水质干净度
水回路循环系统可配置过滤装置、水回路循环系统可配置水质监测装置
温度控制精度可依要求设计达到±1℃
规格表
规格表图
型号索引